SETO 1.67 Lente Fotocromatica SHMC

1)Che cos'è il rivestimento a rotazione?

Il rivestimento a rotazione è una procedura utilizzata per depositare pellicole sottili uniformi su substrati piani.Solitamente una piccola quantità di materiale di rivestimento viene applicata al centro del substrato, che ruota a bassa velocità o non ruota affatto.Il substrato viene quindi fatto ruotare a una velocità fino a 10.000 giri al minuto per distribuire il materiale di rivestimento mediante la forza centrifuga.Una macchina utilizzata per il rivestimento a rotazione è chiamata spin coater o semplicemente spinner.
La rotazione viene continuata mentre il fluido si stacca dai bordi del substrato, fino a raggiungere lo spessore desiderato della pellicola.Il solvente applicato è solitamente volatile e contemporaneamente evapora.Maggiore è la velocità angolare di rotazione, più sottile è la pellicola.Lo spessore del film dipende anche dalla viscosità e concentrazione della soluzione e dal solvente.L'analisi teorica pionieristica del rivestimento per centrifugazione è stata intrapresa da Emslie et al., ed è stata estesa da molti autori successivi (tra cui Wilson et al., che hanno studiato la velocità di diffusione nel rivestimento per centrifugazione; e Danglad-Flores et al., che hanno trovato un descrizione universale per prevedere lo spessore del film depositato).
Il rivestimento a rotazione è ampiamente utilizzato nella microfabbricazione di strati di ossido funzionale su substrati di vetro o cristallo singolo utilizzando precursori sol-gel, dove può essere utilizzato per creare film sottili uniformi con spessori su scala nanometrica.[6]Viene utilizzato intensivamente nella fotolitografia, per depositare strati di fotoresist spessi circa 1 micrometro.Il fotoresist viene generalmente fatto girare a 20-80 giri al secondo per 30-60 secondi.È anche ampiamente utilizzato per la fabbricazione di strutture fotoniche planari costituite da polimeri.
Un vantaggio del rivestimento mediante centrifugazione di film sottili è l'uniformità dello spessore del film.Grazie all'autolivellamento gli spessori non variano più dell'1%.Tuttavia, il rivestimento mediante centrifugazione di pellicole più spesse di polimeri e fotoresist può provocare cordoni sui bordi relativamente grandi la cui planarizzazione presenta limiti fisici.